Anwendungen und Dienstleistungen
Analytik | Entwicklung | Anwendung | Beratung |
Analytik
- Vor-Ort Analyse bei Prozessproblemen, z. B. über optische Verfahren.
- Hochfrequenzmesstechnik und -analyse bei Prozessinstabilitäten, EMV Analysen und Beurteilung der EMV-Sicherheit neuer Anlagen
- Plasma- und Prozessdiagnose
- Invasive Methoden: Mit Sonden, wie im nebenstehenden Bild dargestellt, können direkt relevante Prozessparameter (Elektronendichte und Elektronentemperatur, Potentiale, EVDF, etc.) ortsaufgelöst bestimmt werden. Eine Zeitreihe ist ebenfalls möglich.
- Nicht-invasive Methoden werden z. B. über optische Emissions- oder Absorptionsspektroskopie (auch zeitaufgelöst) durchgeführt und können zusätzliche Informationen, beispielsweise über die Neutralgastemperatur liefern - Oberflächendiagnostiken: XRD, XPS, AFM, REM, EDX, Tropfenanalyse, FTIR, Mikroskopie, Profilometer, ...


Forschung und Entwicklung
- Herstellung von Beschichtungen mit speziellen funktionalisierten Eigenschaften, wie beispielsweise
- optisch aktive Beschichtungen angepasst auf dedizierte Wellenlängenbereiche
- Absorberbeschichtungen für verschiedene Bereiche des optischen Spektrums
- Steigerung der Abriebfestigkeit durch harte Beschichtungen (Keramiken)
- Gasbarrieren zur Reduktion der Gasdiffusion durch plastikartige Trägermaterialien
- Thermische Barriereschichten
- ... - Konzeption und Entwicklung neuartiger angepasster Plasmaquellen für verschiedenste Anwendungsbereiche der Oberflächenveredelung
- Atmosphärendruck (Jets, Arrays, DBDs), ICP, CCP, VHF, Mikrowelle -
Prozessentwicklung auf bestehenden Plasmaanlagen (PVD, PECVD, ...), Prozessdiagnostik und Prozesskontrolle über einen umfangreichen Diagnostikpool
- Oberflächenreinigungsprozesse
- Haftvermittler für spezielle Beschichtungssysteme
- Biokompatible Beschichtungen
- ... - Modellbildung und Simulation technischer Plasmen mit dem Ziel eines Prozessverständnisses für die Entwicklung von Prozessregelungen


Anwendungen
Die Anwendungsgebiete technischer Plasmen sind vielfältig. Im Folgenden finden Sie eine Auswahl an praxisnahen Beispielen aus unserem Forschungsportfolio:
- Lebensmittelindustrie: Beschichtung von recyclebaren Verpackungen (PET) mit Diffusionsbarrieren zur Verlängerung der Haltbarkeit von (kohlensäurehaltigen) Getränken.
- Automotive und Beleuchtungstechnik: Entwicklung von HID Lampen z. B. zum Einsatz in der Automobilindustrie, Optimierung von Herstellungsprozessen
- Consumer Produkte: Atmosphärische Plasmaquellen zur Vorbehandlung von Oberflächen (z. B. Haftverbesserung von Lacken, Anregung und Beschleunigung der Wundheilung)
- Medizintechnik: Schonende und rückstandsfreie Behandlung medizinischer Güter z. B. für die Sterilisation thermolabiler Materialien oder der Herstellung biokompatibler Beschichtungen
- Optische Technologien: Verschiedene Beschichtungen als Antireflexschichten, Spiegel oder Absorberbeshichtungen
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Allgemein:
- Verschleißarme Beschichtungen aus diamond-like-carbon (DLC) oder harten keramischen Schichten zur Steigerung der Abriebfestigkeit
- Herstellung metallischer (auch ferromagnetischer) Beschichtungen als dünne elektrisch leitende Schicht


Beratung
Wenn Sie weitere Fragen zu oben genannten Themen haben oder konkrete Probleme in dieser Richtung vorliegen, können wir Sie beratend unterstützen:
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Technologie- und Anwenderberatung:
- Was ist technologisch möglich?
- Welcher Prozess passt zu welchem Anwendungsproblem?
- Gibt es Alternativen zu bestehenden Prozessen?
- Wie lassen sich bestehende Prozesse auf neue Oberflächenbehandlungen umstellen?
- Welche Anforderungen werden für ein konkretes Problem benötigt? - Unterstützung bei der Planung und Auslegung von Sonderanlagen
- Individuelle Schulungen und Vorträge zu aktuellen Themen der Plasmatechnik Vor-Ort oder zentral auf dem Campus
- Veranstaltung von Workshops zu speziellen Themen als Fortbildung für fortgeschrittene Studenten und Anwender der Technologie
- Beratung und Hilfestellung bei der Prozesskontrolle
- Machbarkeitsstudien
- Umfangreiche Erfahrungen mit der Beantragung, Durchführung und Abwicklung öffentlich geförderter Drittmittelprojekte