Zeiss Merlin FE-SEM

Unser Labor nutzt ein Merlin FE-REM der Firma Zeiss.

Rasterelektronenmikroskopie (REM) wird zur hochauflösenden Darstellung stark vergrößerter Objekte verwendet. Standardmäßig kann eine Ortsauflösung im Submikrometer-Bereich erreicht werden. Unser hochauflösendes Feldemissions-REM ist mit einem EDX-Detektor ausgetstattet, der zudem chemische Analytik ermöglicht. Mit einem EBSD-Detektor können Kristallorientierungsmessungen in geologischen und metallurgischen Proben durchgeführt werden.

Zeiss FE-SEM Merlin

HR-FESEM Zeiss Merlin Gemini II

  • Hersteller: Zeiss
  • Modell: Merlin, Gemini II

Elektronensäule

  • Elektronenquelle: thermischer Schottky-Feldemitter (Strahlstabilität besser als 0.2% / Stunde)
  • Beschleunigungsspannung: 0.1 – 20/30 kV
  • Bildauflösung: 0.8 nm bei 15kV, 1.4 nm bei 1kV (für 40 nA Konfiguration)

Detektoren

  • Everhardt-Thornley-Detektor für Sekundärelektronen (in der Probenkammer)
  • Inlens-Detektor für Sekundärelektronen
  • Rückstreuelektronendetektor BSD4 (in der Probenkammer)
  • Inlens: Energy selective backscattered Detektor (EsB)
  • EDX silicon drift Detektor N-Max (150 mm2), Oxford Instruments (127 eV Energieauflösung)
  • EBSD detector Nordlys mit zwei Forescatter-Dioden (Oxford Instruments, 0.1° Winkelauflösung)

Vakuumsystem

  • Edwards Scrollpumpe nXDS15i
  • Turbomolekularpumpe
  • Zwei Ionengetterpumpen für die Elektronenkanone

Zusätzliche Ausstattung

  • Gasinjektionssystem zur Ladungskompensation
  • Plasmacleaner
  • Große Probenkammer mit Probenschleuse (schneller Probenwechsel)
  • Super-euzentrischer Probentisch mit sechs Achsen
  • Chamber scope

Peripherie

  • EDX/EBSD Aztec Crystal 4.3 Software
  • Steuer-PC für EDX/EBSD-Messungen
  • Offline-Auswerte-PC für EDX/EBSD-Analytik
  • Link Box zur Kontrolle der Forescatter-Dioden
  • Umwälzkühler