Stufenheizer

Stufenheizer

Der Stufenheizer ist eine Eigenentwicklung des Lehrstuhls Werkstoffe der Mikrotechnik. Mit dem Stufenheizer ist es möglich zeitsparend Materialbibliotheken herzustellen, die bis zu sechs unterschiedliche Abscheide- temperaturen abdecken.
Hierbei sind Temperaturen von bis zu 1000 °C möglich. Orthogonal zu den Temperaturstufen kann außerdem mit einem Zusammen- setzungsgradient gearbeitet werden. Der Stufenheizer wurde zu kombinatorischen Entwicklung erweiterter Strukturzonendia- gramme entworfen, kann jedoch überall dort eingesetzt werden wo der Einfluss der Wärmebehandlung auf die Schichteigenschaften untersucht werden soll.