Technische Ausstattung

Technische Ausstattung



Combinatorial thin film deposition (K1 - K3)

The Chair for MEMS Materials has specialized in applying the combinatorial technique to make and screen novel materials systems. Therefore, thin films are deposited by physical vapor deposition (PVD). There are currently 3 PVD chambers available, all designed to handle 100mm (4") silicon wafer substrates.
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Hochvakuumkammer (K4)

K4 ist eine Hochvakuumkammer, Turbo- und Kryo-gepumpt, die mit drei Kathoden (1x DC, 2x RF) ausgestattet ist.
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Hochvakuum-Magnetron Sputtersystem (K5)

K5 is a high vacuum magnetron sputter system (Creavac GmbH, Germany) equipped with two 2” cathodes and one 4” cathode.
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gero röhrenofen (k6)

Der Gero Röhrenofen ermöglicht Wärmebehandlungen unter permanentem Ar- oder N2-Fluss bei Temperaturen von bis zu 1200 °C.
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High throughput test stand (HTTS)

The high throughput test stand (HTTS) is a custom made unit, specially designed for the rapid characterization of thin film materials libraries which in our case are commonly deposited on 4” Si-Wafers.
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Scanning electron microscopy & energy dispersive X-ray spectroscopy

The JEOL 5800 SEM is a sophisticated scanning electron microscope that was designed to operate in either high or low vacuum mode.
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stufenheizer

Der Stufenheizer ist eine Eigenentwicklung des Lehrstuhls Werkstoffe der Mikrotechnik. Mit dem Stufenheizer ist es möglich zeitsparend Materialbibliotheken herzustellen, die bis zu sechs unterschiedene Abscheidetemperaturen abdecken.
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X-ray diffraction

The PANalytical X’Pert PRO X-ray diffraction system is used for the high-throughput characterization of material libraries.
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Reinraum

Der Reinraum am Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik entspricht der Norm ISO 5 und beinhaltet photolithographische, sowie weitere Anlagen zur Mikrostrukturierung.
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Cantilever test stand

The picture on the left shows a vacuum high-throughput test stand for the characterization of the actuator response of thin film SMA (including hot/cold plate, liquid nitrogen (LN2) and electrical feeds).
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taktiles Oberflächenprofilometer

Das Oberflächenprofilometer (XP2, Ambios Technology) wird zur Charakterisierung der Schichtdicke von Dünnschicht-Materialbibliotheken verwendet.
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Digital Holographie Interferometrie BiegebalkenTeststand

Der eigens am Lehrstuhl entwickelte Mikro-Biegebalken Teststand bietet die Möglichkeit, Krümmungsradien von Mikro-Biegebalken zu bestimmen.
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Vielseitige Glühkammer

Diese eigens am Lehrstuhl entwickelte Glühkammer bietet die Möglichkeit, simultane Widerstandsmessungen an mehreren Proben bei variierenden Temperaturen (bis 600°C) durchzuführen. Dabei kann im Vakuum oder in inerten Gasathmosphären gearbeitet werden.
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Physical Property Measurement System (PPMS) mit VSM Option

Das Physical Property Measurement System (PPMS) von Quantum Design erlaubt eine hochauflösende Erfassung von verschiedenen Funktionseigenschaften. Das PPMS kann unter anderem dazu genutzt werden, elektrische Eigenschaften, Wärmekapazitäten und magnetische Eigenschaften zu messen.
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High-throughput Automated Gourmet café System

This tool was implemented immediately adjacent to the laboratory, to fulfill a critical support requirement of virtually all experimental and theoretical work. The high-throughput, one-touch automated Café gourmet chemical reactor (Phillips NV, Eindhoven NL) enables rapid fabrication of small-batch samples with extremely good uniformity and reproducibility. Solid source precursors are mixed in one chamber, while hydrogen hydroxide is thermally brought to the liquid-gas phase transition boundary (T = 373 K) in an upstream-adjacent pretreatment chamber. The gas, liquid and solid reagents are then directed into a reaction manifold, at the exit of which the products are once again separated, with the synthesized liquid being recovered in a downstream collector.

Suitably trained personnel can achieve the entire process in a few minutes, although relativistic time-dilation effects occuring during early morning conditions can give the perception of extending this quite considerably. Additional post-processing experiments can be conducted ex situ with natural or synthetic crystalline solid disaccharide, various grades of milk, or even cream.