Am Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik unter der Leitung von Prof. Dr.-Ing. Alfred Ludwig werden neue multifunktionale Werkstoffe, u.a. für miniaturisierte technische Produkte, mit den Methoden der kombinatorischen Materialforschung entwickelt. Dazu werden mit speziellen Beschichtungsprozessen Materialbibliotheken hergestellt und mit automatisierten Hochdurchsatz-Methoden charakterisiert. Die gewonnenen Informationen werden in Form von Zusammensetzungs-Processing-Struktur-Funktionsdiagrammen (funktionelle Phasendiagramme) visualisiert.

Zu den wichtigsten Forschungsthemen zählen u.a. Schichtsysteme für die Mikrosystemtechnik (ferromagnetische Schichten, Formgedächtnisschichten) und Materialien für die Energiesysteme der Zukunft (nanostrukturierte Halbleiter-Schichten für die solare Produktion von Wasserstoff, Dünnschichtbatteriewerkstoffe, Thermoelektrika). Weiterhin ist die Nutzung von Mikrosystemen für die Werkstoffforschung Gegenstand der Forschung, sowie die Übertragung von Ergebnissen des Schichtscreenings auf Volumenwerkstoffe.