Cameca SX50 (nicht mehr verfügbar)
Wir verwendeten früher eine Mikrosonde 'SX50' des Herstellers Cameca. Obwohl dieses Gerät nicht mehr verfügbar ist, listen wir untenstehend die technischen Spezifikationen der Mikrosonde auf.
- Hersteller: Cameca
- Modellbezeichnung: SX50
- Elektronensäule:
Elektronenquelle: W-Filament
Max. Beschleunigungsspannung: 30 kV
Max. Strahlstrom: 10 μA
- Detektoren
Rückstreuelektronendetektor
Sekundärelektronendetektor
Kathodolumineszenzdetektor
EDX-Detektor(Lithium-drifted Silicon detector)
- Vier wellenlängendispersive Spektrometer (WDS)
WD-Spektrometer 1:
16cm Rowland-Kreis
low-pressure Ar-Proportionalzählrohr
TAP, PET
WD-Spektrometer 2:
16cm Rowland-Kreis
low-pressure Ar-Proportionalzählrohr
LiF, TAP, PC0, PC1
WD-Spektrometer 3:
16cm Rowland-Kreis
high-pressure Ar-Proportionalzählrohr
LiF, PET
WD-Spektrometer 4:
16cm Rowland-Kreis
low-pressure Ar-Proportionalzählrohr
PET, TAP, PC2, PC3
- Vakuumsystem
Zwei Pfeiffer Drehschieberpumpen
Öldiffusionspumpe
Ionengetterpumpe
- Weitere Ausstattungsmerkmale
Optisches Mikroskop mit Kamera (Auflicht und Durchlicht)
Autofokus-System
Strahlstrom-Stabilisator