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Nanoelektornik - Neuer Graduiertenkolleg



Bochum, 18.06.1997
Nr. 123

Chips tausendfach kleiner
Neue Impulse für die Miniaturisierung der Technik
12. Graduiertenkolleg ,Nanoelektronik" von der DFG bewilligt


Impulse für die Miniaturisierung in modernen Fertigungs-Technologien
verspricht sich die RUB von ihrem neuen auf neun Jahre angelegten
Graduiertenkolleg ,Nanoelektronische, mikromechanische und
mikrooptische Systeme - Analyse mittels Ionen, Elektronen und
Photonen". Dessen erste dreijährige Phase hat kürzlich die Deutsche
Forschungsgemeinschaft (DFG) der RUB zum 1.10.1997 bewilligt. Mit
nunmehr 12 Graduiertenkollegs und Beteiligungen an zwei weiteren
Kollegs an anderen Universitäten gehört die RUB zu den Spitzenreitern
in Deutschland. 

Systematisches Studienprogramm

Sprecher des neuen Graduiertenkollegs ist der Nanoelektroniker Prof.
Dr. Andreas Wieck (Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik,
Fakultät für Physik und Astronomie der RUB), der mit Kollegen von
seiner, der Fakultät für Elektrotechnik und der Fakultät für
Maschinenbau zunächst 12 Stipendiaten (10 Doktoranden und 2
Postdoktoranden) in verschiedenen Arbeitsgruppen betreuen und
insbesondere dafür sorgen will, daß Chips auf nanoelektronischer
Basis noch tausendfach kleiner gebaut werden können. Insgesamt ist
das Graduiertenkolleg auf 24 Kollegiaten angelegt. Dessen
didaktisches Ziel ist es, den Doktoranden ein systematisch angelegtes
Studienprogramm anzubieten, das einen breiten Überblick über die
methodischen und materialspezifischen Aspekte benachbarter
Disziplinen bietet und vor allem Kontakte zu den jeweils
,komplementären" experimentellen und theoretischen Arbeitsgruppen
erlaubt. 


Grenzen herkömmlicher Technik ...

Die ständig fortschreitende Miniaturisierung in modernen
Fertigungs-Technologien gründet sich zur Zeit fast ausschließlich
auf photolithographische Methoden, die mit vielen technischen
Finessen, inklusive der Verkürzung der verwendeten Wellenlängen,
immer weiter verfeinert werden. Diese Entwicklung verlangsamt sich
zusehends, erfordert immer höheren technischen Aufwand und ist den
prinzipiellen Auflösungsgrenzen bereits sehr nahe. Aus diesen Gründen
müssen zusätzliche Präparationsmethoden entwickelt, getestet und in
der Ausbildung der zukünftigen Wissenschaftler verankert werden.
Diese Forschungs- und Lehraufgaben will das neue Graduiertenkolleg
konzentriert organisieren und interfakultativ durchführen und damit
die Berufsaussichten der Kollegiaten verbessern. 

... durch neue Methoden überschreiben 

In ihm werden Strukturen von einigen 10 nm (1 Nanometer = 1
Milliardstel Meter) bis einigen mm durch Ionen, Elektronen und
Photonen hergestellt und analysiert. Die dabei verwendeten Ionen- und
Elektronenstrahlen weisen Fokusdurchmesser von nur wenigen 10 nm auf
und liegen damit im Auflösungsvermögen wesentlich höher als die
aktuelle Photolithographie. Die Tiefenauflösung kann insbesondere mit
Ionenstrahlen ebenfalls Nanometer erreichen und wird vorwiegend zur
Analyse verwendet. Es sollen sowohl miniaturisierte elektronische als
auch mechanische und optische Funktionselemente präpariert werden.
Ergänzend wird die hochauflösende Raster-Sonden-Technik zur Analyse
und ebenso zur Strukturierung eingesetzt. 

Weitere Informationen 

Prof. Dr. Andreas Wieck, RUB, Fakultät für Physik und Astronomie,
44780 Bochum, Tel. 0234/700-6726, -3604, Fax: 0234/7094-380, email:
andreas.wieck@rz.ruhr-uni-bochum.de 


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Mit freundlichen Gruessen 

Dr. Josef Koenig 
RUB - Ruhr-Universitaet Bochum 
- Pressestelle - 
44780 Bochum 
Tel: + 49 234 700-2830, -3930
Fax: + 49 234 7094-136
Josef.Koenig@rz.ruhr-uni-bochum.de 

Schauen Sie doch bei uns mal rein: 
http://www.rz.ruhr-uni-bochum.de/pressestelle

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