Dr.-Ing. Dario Grochla

Dr.-Ing. Dario Grochla

Werkstoffe der Mikrotechnik
Institut für Werkstoffe
Fakultät für Maschinenbau
Ruhr-Universität Bochum
Universitätsstr. 150
D-44801 Bochum

Gebäude IC, Ebene 03, Raum 213

Tel.: 0234-32-25596
Fax: 0234-32-14348

Dario.Grochla@ruhr-uni-bochum.de


wiss. Werdegang

Entwicklung eines mikrosystemtechnischen Messverfahrens zur parallelen in situ Messung von Schichtspannung, -temperatur und elektrischem Widerstand bei Plasmabeschichtungsprozessen

D. Grochla studierte an der Ruhr-Universität Bochum Maschinenbau mit dem Schwerpunkt Micro-Engineering. Sein Diplom absolvierte er unter der Leitung von Prof. Dr.-Ing. A. Ludwig. Herr Grochla entwickelte im Rahmen seiner Diplomarbeit ein Verfahren zur Herstellung kompletter ternärer Dünnschicht-Materialbibliotheken mittels PVD-Codeposition in nur einem Beschichtungsvorgang.
Herrn Grochlas Forschungsarbeit am Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik der Ruhr-Universität Bochum beinhaltet die Entwicklung eines auf Mikrotechnik beruhendem in situ Messverfahrens, das zeit- und ortsaufgelöst mechanische Schichtspannungen, die Temperatur während der Beschichtung - möglichst nahe an der wachsenden Schicht - sowie den elektrischen Widerstand der aufwachsenden Schicht bei Plasma-Beschichtungsprozessen erfasst. Dieses Messverfahren soll universell einsetzbar sein, so dass es sowohl bei statischer Sputterkonfiguration, als auch bei rotierender oder dynamischer Konfiguration (Industrieanwendungen) sowie in CVD-Reaktoren eingesetzt werden kann. Die hergestellten Sensoren sollen sowohl auf Wafer- als auch auf Chipebene zum Einsatz kommen. Durch diesen neuartigen diagnostischen Zugang soll ein deutlich verbessertes Verständnis des Schichtwachstums und damit eine verbesserte Kontrolle des Beschichtungsprozesses ermöglicht werden. Dieses Projekt ist Teil des SFB-TR 87 “Gepulste Hochleistungsplasmen zur Synthese nanostrukturierter Funktionsschichten“ und erfolgt in enger Kooperation mit anderen Forschungsgruppen der Ruhr Universität Bochum und der RWTH Aachen.



Veröffentlichungen


H. Bahre, H. Behm, D. Grochla, M. Böke, R. Dahlmann, C. Hopmann, A. Ludwig, J. Winter (2015)
Film stress of amorphous hydrogenated carbon on biaxially oriented polyethylene terephthalate
Plasma Processes and Polymers, Vol. 12, 896-904
DOI: 10.1002/ppap.201500045
http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/ppap.201500045/abstract

H. Stein, D. Naujoks, D. Grochla, C. Khare, R. Gutkowski, S. Grützke, W.Schuhmann, A. Ludwig (2015)
A structure zone diagram obtained by simultaneous deposition on a novel step heater: a case study for Cu2O thin films
Physica Status Solidi
DOI: 10.1002/pssa.201532384
http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/pssa.201532384/abstract

N. Bagcivan, K. Bobzin, A. Ludwig, D. Grochla, R. H. Brugnara (2014),
CrN/AlN Nanolaminate Coatings Deposited via High Power Pulsed and Middle Frequency Pulsed Magnetron Sputtering,
Thin Solid Films, Vol. 572, 153-160, DOI: 10.1016/j.tsf.2014.06.058
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0040609014008153

Grochla D., Siegel A., Hamann S., Buenconsejo P.J.S. Kieschnick M., Brunken H., König D. and Ludwig A. (2013),
Time and space resolved high-throughput characterization of stresses during sputtering and thermal processing of Al-Cr-N thin films
J. Phys. D: Appl. Phys. 46 (2013) 084011.

D. König, P.J.S. Buenconsejo, D. Grochla, S. Hamann, J. Pfetzing-Micklich, A. Ludwig (2012)
Thickness-dependence of the B2–B19 martensitic transformation in nanoscale shape memory alloy thin films: Zero-hysteresis in 75 nm thick Ti51Ni38Cu11 thin films
Acta Materialia 60, 306-313.

H. Brunken, D. Grochla, A. Savan, M. Kieschnick, J. D. Meijer, A. Ludwig (2011)
Combinatorial investigation of Fe–B thin-film nanocomposites
Sci. Technol. Adv. Mater. 12.