Argon

Element 18: Argon, noble gas



Argon is used at the Chair for MEMS Materials for:

- sputtergas
- inertatmosphere for handling with Oxygen isolation


Properties

Atommasse 39,948 u
Dichte 1,784 kg · m−3 (20°C)
Schmelzpunkt 83.80 K
Siedepunkt 87.30 K
spezifische Wärmekapazität 0,52 J/(g · K)
Wärmeleitfähigkeit 0,01772 W/(m · K)