Digital Holographie Interferometrie BiegebalkenTeststand

Digital Holographie Interferometrie BiegebalkenTeststand

Der eigens am Lehrstuhl entwickelte Mikro-Biegebalken Teststand basierend auf dem Messverfahren der digitalholographischen Interferometrie Mikroskopie bietet die Möglichkeit, Krümmungsradien von Mikro-Biegebalken zu bestimmen. Diese berührungslose und zerstörungsfreie Messmethode ermöglicht hochpräzise Spannungsmessungen, basierend auf der Stoney-Gleichung, mit einer Auflösung von
5 MPa und exzellenter Reproduzierbarkeit. Durch automatisierte Datenerfassung sind Hochdurchsatzanalysen mechanischer Schichtspannungen sowohl ex situ möglich als auch in situ Spannungsmessung mittels eines beheizbaren Positioniertisches. Zusätzliche Funktionen stellen die Darstellung von 3D-Abbildungen der Oberflächen im sub-mikrometer Bereich, sowie Schichtdickenmessungen mittels Zwei-Wellenlängen-Holographie-Interferometrie dar.