Technische Ausstattung

   
  • Combinatorial thin film deposition
  • GERO Röhrenofen
  • High-throughput test stand (HTTS)
  • Hochvakuum-Magnetron Sputtersystem
  • Taktiles Oberflächenprofilometer
  • Reinraum
  • Digital Holographie Interferometrie BiegebalkenTeststand
  • Cantilever test stand
  • Physical Property Measurement System (PPMS) mit VSM Option
  • X-Ray diffraction

 


 

Combinatorial thin film deposition


Weiss

The Chair for MEMS Materials has specialized in applying the combinatorial technique to make and screen novel materials systems. Therefore, thin films are deposited by physical vapor deposition (PVD). There are currently 3 PVD chambers available, all designed to handle 100mm (4") silicon wafer substrates.


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Hochvakuumkammer


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K4 ist eine Hochvakuumkammer, Turbo- und Kryo-gepumpt, die mit drei Kathoden (1x DC, 2x RF) ausgestattet ist.


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Hochvakuum-Magnetron Sputtersystem


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K5 is a high vacuum magnetron sputter system (Creavac GmbH, Germany) equipped with two 2” cathodes and one 4” cathode.


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Stufenheizer


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Der Stufenheizer ist eine Eigenentwicklung des Lehrstuhls Werkstoffe der Mikrotechnik. Mit dem Stufenheizer ist es möglich zeitsparend Materialbibliotheken herzustellen, die bis zu sechs unterschiedene Abscheidetemperaturen abdecken.


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Reinraum


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Der Reinraum am Lehrstuhl Werkstoffe der Mikrotechnik entspricht der Norm ISO 5 und beinhaltet photolithographische, sowie weitere Anlagen zur Mikrostrukturierung.


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Cantilever test stand


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The picture on the left shows a vacuum high-throughput test stand for the characterization of the actuator response of thin film SMA (including hot/cold plate, liquid nitrogen (LN2) and electrical feeds).


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Physical Property Measurement System (PPMS) mit VSM Option


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Das Physical Property Measurement System (PPMS) von Quantum Design erlaubt eine hochauflösende Erfassung von verschiedenen Funktionseigenschaften. Das PPMS kann unter anderem dazu genutzt werden, elektrische Eigenschaften, Wärmekapazitäten und magnetische Eigenschaften zu messen.


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GERO Röhrenofen


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Der Gero Röhrenofen ermöglicht Wärmebehandlungen unter permanentem Ar- oder N2-Fluss bei Temperaturen von bis zu 1200 °C.


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High-throughput test stand (HTTS)


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The high-throughput test stand (HTTS) is a custom made unit, specially designed for the rapid characterization of thin film materials libraries which in our case are commonly deposited on 4” Si-Wafers.


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Scanning electron microscopy & energy dispersive X-Ray spectroscopy

 


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The JEOL 5800 SEM is a sophisticated scanning electron microscope that was designed to operate in either high or low vacuum mode.


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Taktiles Oberflächenprofilometer


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Das Oberflächenprofilometer (XP2, Ambios Technology) wird zur Charakterisierung der Schichtdicke von Dünnschicht-Materialbibliotheken verwendet.


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Digital Holographie Interferometrie BiegebalkenTeststand


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Der eigens am Lehrstuhl entwickelte Mikro-Biegebalken Teststand bietet die Möglichkeit, Krümmungsradien von Mikro-Biegebalken zu bestimmen.


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Vielseitige Glühkammer


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Diese eigens am Lehrstuhl entwickelte Glühkammer bietet die Möglichkeit, simultane Widerstandsmessungen an mehreren Proben bei variierenden Temperaturen (bis 600°C) durchzuführen. Dabei kann im Vakuum oder in inerten Gasathmosphären gearbeitet werden.


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X-Ray diffraction


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The PANalytical X’Pert PRO X-Ray diffraction system is used for the high-throughput characterization of material libraries.


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