rubitec GmbH

Leistungsfelder

  • Forschung & Entwicklung

    Im Auftrag industrieller Partnern werden kundenspezifische Forschungs- und Entwicklungsprojekte unter Nutzung hochenergetischer Ionenstrahlen durchgeführt.

    Mehr Details
  • Hochenergie-Ionenimplantation

    Die Hochenergie-Ionenimplantationen verbessert die Produkteigenschaften von Leistungshalbleitern. Ionensorte, Energie und Dosis können dabei in weiten Bereichen variiert werden.

    Mehr Details
  • Ionenstrahlanalytik

    Mit einer breiten Palette an unterschiedlichen Techniken (RBS, NRA, DIGE und PIXE) lassen sich dünne Schichten zerstörungsfrei untersuchen.

    Mehr Details
  • Oberflächenmodifizierung

    Durch das Einbringen von speziellen Ionen in die Randschichten eines Materials oder durch spezielle Beschichtungen der Oberflächen lassen sich die Eigenschaften eines Produktes im oberflächennahen Bereich ändern.

    Mehr Details

Aktuelles

  • 200mm Implantationen verfügbar

    Nach erfolgreicher Umrüstung einer Anlage ist die rubitec seit Beginn des Jahres in der Lage alle angebotenen Implantationen auch auf 200mm Wafern anzubieten. Das Handling der Wafer erfolgt dabei zur[...]

    Mehr Details

rubitec GmbH

Universitätsstraße 150
44801 Bochum

Tel.: +49(0) 234 - 32 - 11950
Fax: +49(0) 234 - 32 - 14194

E-Mail: rubitec@rubitec.de

Kontakt aufnehmen