MOVPE von Gruppe-III-Nitriden mit intramolekular koordinierten Prekursoren. Mechanistische Studien und Modellierung der Prozesse

MOVPE of Group-III-Nitrides with Intramolecular Coordinated Precursors.
Mechanistic Studies and Modelling of the Processes.

Kooperation:

Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, AG Müller Universität Bochum

Lehrstuhl für Strömungsmechanik Universität Erlangen

Lehrstuhl für Anorganische Chemie II Universität Bochum

Lehrstuhl für Anorganische Chemie, AG Schmid
Technische Universität München

 

PD Dr. Müller

Dr. Brenner

Prof. Dr. Fischer


Dr. Schmid

Projektbeschreibung:
Das gemeinsame Projektziel der Antragsteller ist die Entwicklung neuer Herstellungsprozesse für Gruppe-III-Nitridhalbleiter auf der Basis intramolekular adduktstabilisierter Alkyl/Amid-Derivate. Diese Prozesse sollen eine billigere, effizientere und sicherere Alternative zum klassischen Verfahren für die Massenproduktion von einfachen Nitrid-Bauteilen für die Beleuchtungstechnik (LEDs) bieten. Diese Ziele sollen durch eine interdisziplinäre Zusammenarbeit von Ingenieuren und Chemikern aus den Bereichen Strömungsmechanik, Materialwissenschaft, Metallorganische Synthesechemie, Gasphasenanalytik und Theoretische Chemie erreicht werden. Dabei soll der Gesamtprozess der Chemischen Dampfabscheidung von der Synthese hochreiner Vorläufermoleküle über die Analyse von Gasphasenspecies bis zur Materialabscheidung, sowohl mit theoretischen als auch mit experimentellen Methoden aufgeklärt werden.
Intramolekular koordinierte Gallane.
Alternative Prekursoren vom Schumann-Typ (1, 2) und deren Amid-Varianten (3, 4)

Aufgabenverteilung innerhalb des Projektes:

Arbeitsgruppe J. Müller (Bochum):
Identifizierung molekularer Gasphasen-Intermediate des MOVPE-Prozesses.
Arbeitsgruppe G. Brenner (Erlangen):
Theoretische Beschreibung des GaN-Schichtwachstums im MOVPE-Reaktor auf der Basis neuester 3D-Transportmodelle.
Arbeitsgruppe R. A. Fischer (Bochum):
MOVPE von GaN-Schichten unter Industriestandardbedingung im AIX-200RF-MOVPE-Reaktor (AIXTRON).
Arbeitsgruppe R. Schmid (München):
Vorhersage möglicher Zwischenprodukte und Zerfallswege der Prekursoren mit DFT-Methoden.

 

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